日前，地处建德经济开发区的广钢气体建德智能装备制造基地正式投产，并成功下线首套完全自主研制的Super-N 30K Pro超高纯制氮机大型模块化真空冷箱。这一突破标志着我国在超高纯电子大宗气体核心装备领域实现全链路自主可控，为半导体产业链安全注入强心剂。

广钢气体是国内领先的电子大宗气体综合服务商，专注于为集成电路制造、半导体显示等高端制造业提供超高纯电子大宗气体解决方案。位于我市的广钢气体智能装备制造基地项目占地65.9亩，总投资2.68亿元，是建德高端智能制造产业链的关键一环。该基地落地投产有力推动了建德高端制造业的集聚，为我市的产业结构优化和升级提供强大动力，进而提升建德在高端装备制造领域的整体竞争力。

广钢气体建德智能装备制造基地正式投产意义深远：首先是制造能力飞跃，将显著提升广钢气体核心装备制造的一致性，有效缩短交货周期，为全球客户提供更稳定、更及时的供应保障；其次是技术集成深化，将有力提升广钢气体产品的集成度与定制化能力，能够更精准、高效地满足不同客户对超高纯电子大宗气体的复杂需求；再者是研发创新引擎，该基地不仅是制造中心，更是广钢气体核心装备的尖端研发平台。依托其先进的研发设施，广钢气体将持续强化核心解决方案的创新能力，进一步引领技术升级，定义行业新标杆。

广钢气体董事长邓韬表示：“建德智能装备制造基地仅用时9个月20天就实现从破土动工到正式投产，创造了行业新速度，这也是广钢气体能力基因的进一步补强。它不仅巩固了我们在超高纯电子大宗气体行业的领先优势，更是我们向世界级气体公司目标迈进的关键一步。未来，从建德智能装备制造基地下线的每一台国产化核心设备，都将承载着我们对技术自主、保障供应链安全、服务国家战略新兴产业发展的坚定承诺。”

值得一提的是，广钢气体此次下线的Super-N 30K Pro超高纯制氮机可稳定产出纯度达PPB级（十亿分之一）的氮气，同时副产PPB级高纯氧及粗氪氙液，满足半导体制造对气体杂质的极限要求，其纯度标准比肩国际顶尖产品，有效填补国内超高纯气体装置制造能力的空缺。而其大型模块化真空冷箱设计首创一体化真空冷箱模块结构，将传统分散设备集成至单一系统，大幅提升能效与稳定性，为12英寸晶圆厂等高耗能场景提供高效解决方案。同时，从核心材料、控制系统到制造工艺实现100%国产化，彻底打破海外企业长达20年的技术垄断。

Super-N 30K Pro超高纯制氮机的下线，不仅是一台设备的诞生，更是中国高端气体装备“研发—智造—应用”闭环成型的历史性标志。专注核心装备的广钢气体正以技术自主突破“卡脖子”困局，用科技硬实力改写行业格局。

（记者 仰武）